MCE-500多功能镀膜系统

应用方向：科研、小批量生产

适用范围：新能源光伏、半导体

设备特点：

★设备配置灵活（根据使用需求配置不同功能腔体）

★工艺稳定性及重复性好

★具备可拓展功能

★真空机械臂传递精度高

产品参数：

★镀膜室极限真空：≤667x10-5Pa

★衬底：加热方式，温度300℃±1℃

★LOADLOCK室尺寸：φ1000x500（H）（单位：mm）

★镀膜室：500（L）x500（W）x500（H）（单位：mm）

★进样室：500（L）x500（W）x500H）（单位：mm）

★镀膜室极限真空：≤6.67x10-5Pa

★LOADLOCK室真空度：1.0x10-1Pa（可选配高真空系统）

★传递中转过渡室：≤6.67x10-5Pa

★镀膜室衬底：加热或水冷可选

★真空机械臂：

最大负重0.5kg

重复定位精度：升降轴（Z轴）±0.01mm

回转轴（θ轴）:±0.01°

伸展轴（R轴）:±0.05mm

★控制方式:全自动控制、远程上位控制